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大气压力传感器的应用及原理

更新时间:2023-03-22      浏览次数:577
大气压力传感器除被广泛应用在气象监测中外,还被应用在很多方面:如将其安装在无人机上,可以通过无人机的周围气压与遥控器气压的对比,从而得知无人机和控制人员的高度差,帮助无人机更好的进行着陆;将其应用在智能手机、智能手表,智能手环等消费电子产品中可发挥更多的作用,还用来测量准确的高度位置、改善室内导航,热量计算以及许多其它的应用。
大气压力传感器与半导体压敏电阻压力传感器的制作原理类似,也是采用集成电路与微加工技术,在一块半导体基片(硅片)上形成压力传感器、温度补偿电路和放大电路。
在硅片的中间,从反面经异向腐蚀形成了一个正方形的膜片(利用膜片将压力变换成应力),在膜片的表面,通过扩散杂质形成4个P型的测量电阻,以惠斯顿电桥方式连接,利用膜片的压阻效应(将加在膜片上的压力变换成电阻的变化),在两个输出端子之间输出一定的电位差。
膜片的里面与硅杯之间设计成真空腔,用于缓和外部的应力,并以此真空腔的压力为基准来测量大气压力。

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